邢廷文,男 最高學(xué)歷,研究生
工作單位:中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所
個(gè)人簡(jiǎn)歷
1981.09—1985.06 華中科技大學(xué)(原華中工學(xué)院)光學(xué)系學(xué)習(xí),獲學(xué)士學(xué)位
1985.09—1988.06 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所學(xué)習(xí),獲碩士學(xué)位
1988.06—1995.06 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作
1995.06—1996.10 日本國(guó)東京工藝大學(xué)光學(xué)系統(tǒng)研究室進(jìn)修
1996.10—1999.09 日本國(guó)NALUX(又名日本非球面)公司工作
1999.09—2000.01 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作
2000.01—2003.02 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作,應(yīng)用光學(xué)研究室主任
2003.02—2008.05 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作,微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任
2008.5— 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所工作,應(yīng)用光學(xué)研究室主任
研究主要成果
參加完成了光纖傳像望遠(yuǎn)鏡/潛望鏡系統(tǒng)、眼科手術(shù)顯微鏡、系列高檔手術(shù)顯微鏡、亞微米投影光刻物鏡、紫外成像物鏡、紅外成像物鏡、觀測(cè)設(shè)備等系統(tǒng)的研制。獲得省部級(jí)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)2項(xiàng)、二等獎(jiǎng)2項(xiàng)、三等獎(jiǎng)1項(xiàng),在國(guó)內(nèi)外發(fā)表論文32篇,申請(qǐng)發(fā)明專利11項(xiàng),合作專著一本。
精通的專業(yè)和設(shè)備
主要從事光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭、光學(xué)儀器的研究開(kāi)發(fā)工作,涉及光學(xué)儀器的總體方案制定、光學(xué)設(shè)計(jì)、光機(jī)設(shè)計(jì)、系統(tǒng)檢測(cè)、光電探測(cè)器的應(yīng)用。精通的主要設(shè)備包括精密長(zhǎng)度、角度、表面形狀、表面粗糙度、光學(xué)材料特性等測(cè)試設(shè)備,紅外特性測(cè)量設(shè)備,光電探測(cè)設(shè)備,光電成像設(shè)備等。
在研項(xiàng)目
純反射式紅外光學(xué)系統(tǒng),投影光刻曝光光學(xué)系統(tǒng)等。
未來(lái)研究方向
微電子光刻技術(shù),特種光學(xué)技術(shù)
待轉(zhuǎn)化的專利或成果
微極大規(guī)模集成電路中光刻機(jī)的投影曝光光學(xué)系統(tǒng)的研制已經(jīng)進(jìn)入集成階段,產(chǎn)生了一批專利,成果有待轉(zhuǎn)化。